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小型蒸鍍儀特別適合蒸鍍一些輕金屬,如、Al、Mg、和Li等;同時也可對樣品進行鍍碳處理,大可處理的樣品直徑為50mm。
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小型蒸鍍儀特別適合蒸鍍一些輕金屬,如、Al、Mg、和Li等;同時也可對樣品進行鍍碳處理,大可處理的樣品直徑為50mm。
KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動擋板功能。通過定時調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。
小型蒸鍍儀
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上)清洗,需自備氬氣氣瓶 4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 5、通風(fēng)裝置:需要 | ||
主要特點 | 1、配有直連式雙旋機械泵(裝有油污過濾器和防回油裝置),可使真空腔體真空度達到10-2torr。 2、配有KF25波紋管和卡箍。 3、可進行鍍碳處理。 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、輸入電壓:AC208V-240V 50/60Hz 2、功率:<2000W 3、真空腔體:熔融玻璃管 4、載物臺:50mm 5、大蒸鍍區(qū)域:45mm 6、鎢絲舟:3個 7、真空度:10-2torr(雙旋機械泵) | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | |||
標準配件 | 1 | 鎢絲舟 | 3個 |
2 | 碳纖維 | 1根 | |
注意事項 | 1、對于蒸鍍對氧較敏感的材料,建議使用渦旋分子泵。 2、為了達到較高的無氧環(huán)境,至少要用高純惰性氣體對真空腔體清洗3次。 |